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Patent 2565289 Summary

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Claims and Abstract availability

Any discrepancies in the text and image of the Claims and Abstract are due to differing posting times. Text of the Claims and Abstract are posted:

  • At the time the application is open to public inspection;
  • At the time of issue of the patent (grant).
(12) Patent: (11) CA 2565289
(54) English Title: DEVICE FOR MECHANICAL DECOUPLING FOR MONOLITHIC DIFFERENTIAL VIBRATING SENSOR
(54) French Title: DISPOSITIF DE DECOUPLAGE MECANIQUE POUR CAPTEUR VIBRANT DIFFERENTIEL MONOLITHIQUE
Status: Granted
Bibliographic Data
(51) International Patent Classification (IPC):
  • G01P 15/097 (2006.01)
(72) Inventors :
  • LE TRAON, OLIVIER (France)
  • PERNICE, MARC (France)
  • JANIAUD, DENIS (France)
  • LECORRE, BERNARD (France)
  • MULLER, SERGE (France)
(73) Owners :
  • ONERA (OFFICE NATIONAL D'ETUDES ET DE RECHERCHES AEROSPATIALES) (France)
(71) Applicants :
  • ONERA (OFFICE NATIONAL D'ETUDES ET DE RECHERCHES AEROSPATIALES) (France)
(74) Agent: SMART & BIGGAR LP
(74) Associate agent:
(45) Issued: 2011-06-07
(86) PCT Filing Date: 2005-04-21
(87) Open to Public Inspection: 2005-12-22
Examination requested: 2006-11-01
Availability of licence: N/A
(25) Language of filing: French

Patent Cooperation Treaty (PCT): Yes
(86) PCT Filing Number: PCT/FR2005/000988
(87) International Publication Number: WO2005/121811
(85) National Entry: 2006-11-01

(30) Application Priority Data:
Application No. Country/Territory Date
0404794 France 2004-05-05

Abstracts

English Abstract

The invention concerns a sensor comprising two identical vibrating elements operating at a common working frequency and interconnected by a mechanical decoupling device. The device consists of a frame (DM') and two connecting bridges (71, 72) each supporting one element. The sensor is characterized in that the frame (DM') consists of a series of solid parts (63, 64, 65, 66) and thinned parts (11, 12, 13, 14, 15, 16) such that the frequency of a structural resonant mode of the frame is equal to the common working frequency and that each connecting bridge (71, 72) is arranged in a vibrating node of the structure at said frequency. Thus, the vibrations of the two vibrating elements are decoupled from each other.


French Abstract




Le capteur comporte deux éléments vibrants identiques fonctionnant avec une
fréquence de travail commune et reliés entre eux par un dispositif de
découplage mécanique. Le dispositif est constitué d~un cadre (DM.prime.) et de
deux ponts de liaison (71, 72) supportant chacun un élément. Le capteur se
caractérise en ce que le cadre (DM.prime.) est constitué d~une succession de
parties massives (63, 64, 65, 66) et de parties amincies (11, 12, 13, 14, 15,
16) de telle sorte que la fréquence d~un mode de résonance structurelle du
cadre est égale à la fréquence de travail commune et que chaque pont de
liaison (71, 72) est disposé dans un nAEud de vibration de la structure à
cette fréquence. Ainsi, les vibrations des deux éléments vibrants sont
découplées l~une de l~autre.

Claims

Note: Claims are shown in the official language in which they were submitted.





16



REVENDICATIONS



1 Capteur usiné dans une plaque plane comportant deux
éléments vibrants sensiblement identiques fonctionnant en mode
différentiel avec une fréquence de travail commune et reliés
entre eux par un dispositif mécanique, symétrique par rapport
à un axe perpendiculaire à la plaque, constitué d'un cadre et
de deux ponts de liaison supportant chacun un élément vibrant,
où le cadre est constitué d'une succession de parties massives
et de parties amincies de telle sorte que la fréquence d'un
mode de résonance structurelle du cadre est sensiblement égale
à la fréquence de travail commune, où chaque pont de liaison
est disposé dans un noeud de vibration du cadre à la fréquence
de travail commune, et où le dispositif mécanique n'a pas de
plan de symétrie passant par l'axe perpendiculaire.


2 Capteur selon la revendication 1, où les deux parties
amincies situées respectivement de part et d'autre de chacun
des deux ponts de liaison et les plus proches du pont de
liaison ont des souplesses mécaniques très différentes l'une
de l'autre.


3 Capteur selon la revendication 1 ou 2, où le cadre
entoure les deux éléments.


4 Capteur selon l'une quelconque des revendications 1
à 3, où le cadre est constitué de quatre cotés disposés
suivant la forme générale d'un rectangle, deux des cotés
disposés en regard l'un de l'autre et solidaires chacun d'un
pont de liaison ayant chacun deux parties amincies situées
respectivement de part et d'autre de chacun des deux ponts
de liaison.




17



Capteur selon la revendication 4, où les parties
amincies des deux cotés solidaires chacun d'un pont de
liaison ont une dimension de section prise dans le plan du
cadre comprise entre le quart et la moitié de la dimension
de section des parties non amincies des cotés.


6 Capteur selon la revendication 5, où les deux parties
amincies situées respectivement de part et d'autre de chacun
des deux ponts de liaison et les plus proches du pont de
liaison ont des dimensions de longueur très différentes
l'une de l'autre, la plus grande des dimensions de longueur
étant comprise entre deux fois et dix fois l'autre dimension
de longueur.


7 Capteur selon la revendication 6, où les deux autres
cotés ont chacun une partie amincie dont la dimension de
section prise dans le plan du cadre est comprise entre le
quart et la moitié de la dimension de section des parties
non amincies desdits autres cotés.


8 Capteur selon la revendication 7, où la dimension de
longueur des parties amincies des deux autres cotés est
comprise entre la moitié et le double de la dimension de
longueur de la plus longue des deux parties amincies situées
respectivement de part et d'autre de chacun des deux ponts
de liaison et les plus proches du pont de liaison.

Description

Note: Descriptions are shown in the official language in which they were submitted.



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WO 2005/121811 PCT/FR2005/000988
1
Dispositif de découplage mécanique pour capteur vibrant

différentiel monolithique

La présente invention concerne, de manière générale, des
capteurs vibrants monolithiques fonctionnant en mode
différentiel, c'est-à-dire constitués de deux éléments
vibrants solidaires d'un même support. Le caractère
monolithique est favorable à la réduction du coût de
fabrication car il permet d'éviter des assemblages de pièces,

et le fonctionnement en mode différentiel vise à améliorer la
précision de la mesure en réduisant l'influence des grandeurs
d'entrée parasites qui agissent en mode commun sur les deux
éléments vibrants.
Plus particulièrement, l'invention a trait à un
dispositif permettant de découpler les vibrations mécaniques
des deux éléments vibrants afin d'éviter une dégradation de
la précision de mesure lorsque les fréquences des deux
vibrations sont proches l'une de l'autre.
Selon le brevet n FR 2 739 190 au nom du demandeur, un
accéléromètre vibrant différentiel monolithique AD' montré à
la figure 1 comporte deux éléments vibrants TA'1 et TA'2
sensiblement identiques et réalisés dans la même plaque de
matériau d'épaisseur uniforme. Chacun des deux éléments
vibrants, TA'1 et TA'2 est un transducteur d'accélération

comportant notamment une masse d'épreuve (21r 22), un
résonateur (31r 32) dont la fréquence de résonance varie en
fonction de l'accélération appliquée suivant un axe
sensiblement perpendiculaire au plan de la plaque, et un
cadre flexible (51r 52) relié au moyen d'un unique pont de

liaison (71r 72) à la branche supérieure d'une partie fixe 1'
de contour de face en I. Les transducteurs TA'1 et TA'2 sont
symétriques l'un de l'autre par rapport à l'axe central YY'
de l'accéléromètre AD'.


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La partie fixe 1' est destinée à être solidaire de la
structure d'un véhicule (non représenté) par l'intermédiaire
d'une embase de boîtier BA'. Ainsi, les variations de
fréquence de chacun des deux transducteurs d'accélération
TA'1 et TA'2 sont représentatives des variations
d'accélération subies par le véhicule. Le résonateur 31
affleure l'une des deux faces de la plaque et le résonateur
32 affleure l'autre face, ce qui permet qu'une accélération
appliquée perpendiculairement au plan de la plaque provoque

une augmentation de la fréquence de résonance de l'un des
deux résonateurs et une diminution, de valeur sensiblement
identique, de la fréquence de résonance de l'autre
résonateur.
Par ailleurs, l'accéléromètre est généralement soumis à
l'influence d'autres grandeurs d'entrée que l'accélération à
mesurer. Lorsque ces autres grandeurs d'entrée, dites
parasites, agissent en mode commun sur les deux
transducteurs, ce qui est le cas par exemple de variations de
température, elles provoquent des variations de fréquence

sensiblement identiques sur les deux résonateurs. La grandeur
de sortie de l'accéléromètre AD' étant la différence des deux
fréquences, on voit qu'ainsi l'influence de ces grandeurs
d'entrée parasites peut être notablement réduite, et que la
sensibilité de l'accéléromètre est sensiblement le double de
la sensibilité de chacun des deux transducteurs.
Chacun des cadres flexibles (51r 52) a pour fonction de
réaliser un filtre mécanique entre le résonateur (31r 32) et
la partie fixe 1', et peut être considéré de façon simplifiée
comme étant une suspension filtrante dont la fréquence de

résonance est nettement inférieure à celle du résonateur. Par
analogie électrique, ce type de filtrage correspond à un
filtre passe-bas du deuxième ordre. La partie fixe 1' est
ainsi très peu sollicitée par les vibrations du résonateur


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dont le coefficient de surtension n'est donc pratiquement pas
altéré.
La conception mécanique de l'accéléromètre connu AD'
présente des inconvénients, particulièrement au sujet du
couplage mécanique entre les vibrations des deux résonateurs
lorsque les fréquences des deux vibrations sont proches l'une
de l'autre. C'est le cas notamment lorsque, cherchant à
réaliser un accéléromètre de grande précision, on vise à
obtenir deux transducteurs TA'1 et TA'2 les plus identiques
possible afin de bénéficier de l'effet différentiel maximal.
Il en résulte que les deux fréquences sont amenées à se
croiser pour une valeur d'accélération contenue dans
l'étendue de mesure de l'accéléromètre. A l'approche du
croisement des fréquences apparaît alors un phénomène de

couplage mécanique qui se traduit dans un premier temps par
une augmentation du bruit de mesure, puis par une identité
parfaite des deux fréquences pour des valeurs d'accélération
situées dans une petite zone appelée zone aveugle de
mesure . Dans cette petite zone, les deux fréquences sont
verrouillées l'une à l'autre, ce qui empêche la mesure de
l'accélération. A titre indicatif, pour un accéléromètre
connu AD' dimensionné pour mesurer jusqu'à 100 g et dont la
précision, pour un éloignement suffisant des deux fréquences,
est typiquement de l'ordre de 10-4 g, la zone aveugle peut

atteindre 1 g, ce qui correspond à une dégradation par un
facteur 10 000 de la précision de mesure d'une accélération
contenue dans cette zone.
Cette dégradation très importante de la précision est
due essentiellement à trois causes le caractère
monolithique de l'accéléromètre AD', la quasi-absence
d'amortissement des matériaux généralement utilisés pour
réaliser des capteurs de grande précision, par exemple du
quartz ou du silicium, et le fait que les deux ponts de
liaison 71 et 72 sont directement reliés entre eux par la


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branche supérieure de la partie fixe 1'. Ainsi, malgré le
filtrage mécanique procuré par les cadres flexibles 51 et 52
qui permet que la partie fixe 1' soit très peu sollicitée par
les vibrations des résonateurs 31 et 32, la très faible
sollicitation provenant de chacun des éléments vibrants est
directement transmise à l'autre élément vibrant. Ainsi,
lorsque les deux fréquences sont proches l'une de l'autre,
l'effet de cette très faible sollicitation est amplifié par un
facteur voisin du coefficient de surtension du résonateur
dudit autre élément vibrant, ce qui provoque le couplage
mécanique entre les deux résonateurs.
Comme le caractère monolithique et la nature des
matériaux utilisés pour ces capteurs ne sauraient être
modifiés, compte tenu des avantages déjà cités, seule la voie
d'un perfectionnement de la conception mécanique du dispositif
de maintien des deux éléments vibrants reste possible.
La présente invention vise à remédier à l'inconvénient de
l'accéléromètre connu illustré à la figure 1 en proposant une
forme géométrique de dispositif de découplage intégré à la
structure monolithique du capteur vibrant différentiel et
permettant d'éviter le couplage mécanique entre les vibrations
des deux éléments vibrants lorsque les fréquences des deux
vibrations sont proches l'une de l'autre. Il doit être entendu
que la portée de l'invention n'est pas limitée aux
accéléromètres et qu'elle s'étend plus généralement aux
capteurs mettant en oeuvre deux éléments vibrants travaillant
constamment ou occasionnellement à des fréquences très
voisines, c'est-à-dire pour lesquelles l'écart relatif de
fréquence est inférieur à 0,1% dans la pratique. Dans ce cas
de proximité des deux fréquences et afin de rendre plus claire
la présentation de certains aspects de l'invention, on
désignera lesdites fréquences par fréquence de travail
commune des deux éléments vibrants.
L'invention vise donc un capteur usiné dans une plaque
plane comportant deux éléments vibrants sensiblement


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identiques fonctionnant en mode différentiel avec une
fréquence de travail commune et reliés entre eux par un
dispositif mécanique, symétrique par rapport à un axe
perpendiculaire à la plaque, constitué d'un cadre et de deux
5 ponts de liaison supportant chacun un élément vibrant, où le
cadre est constitué d'une succession de parties massives et de
parties amincies de telle sorte que la fréquence d'un mode de
résonance structurelle du cadre est sensiblement égale à la
fréquence de travail commune, où chaque pont de liaison est
disposé dans un noeud de vibration du cadre à la fréquence de
travail commune, et où le dispositif mécanique n'a pas de plan
de symétrie passant par l'axe perpendiculaire.
Ainsi, à la fréquence de travail commune, ce sont les
vibrations du cadre en réponse aux sollicitations de chacun
des éléments vibrants qui s'adaptent spontanément pour
empêcher les deux ponts de liaison de vibrer, ce qui permet
d'obtenir que le comportement vibratoire d'un élément vibrant
soit sensiblement le même que s'il était supporté par un moyen
indépendant de celui de l'autre élément vibrant. Ainsi, comme
il n'y a pratiquement plus de couplage mécanique entre les
vibrations issues des éléments, la précision de la mesure
fournie par le capteur différentiel est améliorée.
De préférence, afin que le bon fonctionnement du
dispositif s'accommode de tolérances de fabrication
relativement larges, les deux parties amincies situées
respectivement de part et d'autre de chacun des deux ponts de
liaison et les plus proches dudit pont de liaison ont des
souplesses mécaniques très différentes l'une de l'autre.
Pour réaliser un capteur compact, les éléments vibrants
sont situés à l'intérieur du cadre.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention
apparaîtront plus clairement à la lecture de la description
détaillée et des figures qui s'y rapportent dans lesquelles :


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- la figure 1 est une vue en perspective d'un
accéléromètre vibrant différentiel monolithique appartenant à
l'art antérieur et déjà commenté ;
- la figure 2 est une vue en perspective d'un
accéléromètre vibrant différentiel monolithique inspiré de
l'art antérieur ;
- la figure 3 est une vue en perspective d'un
accéléromètre vibrant différentiel monolithique intégrant un
dispositif de découplage mécanique selon une première
réalisation de l'invention ;
- la figure 4 représente un modèle théorique simplifié
constitué de masses et de ressorts, destiné à expliquer le
fonctionnement du dispositif de découplage mécanique de la
figure 3 ;
- la figure 5 est une vue en perspective d'une autre
réalisation d'un dispositif de découplage mécanique conforme à
l'invention.
En revenant à la voie précédemment évoquée d'un
perfectionnement de la conception mécanique du dispositif de
maintien des deux éléments vibrants, afin de résoudre le
problème du couplage mécanique entre les deux résonateurs, il
pourrait paraître intéressant de s'inspirer de la fonction de
filtrage mécanique procurée par un cadre flexible du type de
ceux (51, 52) montrés à la figure 1 pour réaliser un filtre
mécanique entre les deux ponts de liaison 71 et 72, ainsi
qu'illustré à la figure 2 où lesdits ponts de liaison sont
solidaires d'un cadre flexible 5 entourant les deux
transducteurs d'accélération TA'1 et TA'2. On obtiendrait ainsi
l'accéléromètre vibrant différentiel monolithique ADa tel que
représenté à la figure 2 et pour lequel, afin d'obtenir
l'efficacité maximale du filtrage procuré par le cadre
flexible 5 et conformément aux recommandations mentionnées
dans le brevet déjà cité, le plan P perpendiculaire au plan du
cadre 5 et passant par les deux ponts de liaison 71 et 72 est
un plan de symétrie de l'accéléromètre ADa. Toutefois, la


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forme et la disposition du cadre flexible 5 représenté à la
figure 2 ne pourraient convenir de façon satisfaisante à un
accéléromètre vibrant différentiel monolithique car le
couplage mécanique entre les deux résonateurs 31 et 32 ne
serait pas suffisamment réduit. A titre indicatif, pour un
accéléromètre ADa dimensionné pour mesurer jusqu'à 100 g et
dont la précision, pour un éloignement suffisant des deux
fréquences, est typiquement de l'ordre de 10-4 g, la zone
aveugle de mesure ne peut être inférieure à 0,1 g à moins
d'augmenter dans de trop grandes proportions la souplesse du
cadre flexible 5 et ainsi diminuer de façon rédhibitoire la
fréquence propre la plus basse et donc la robustesse de
l'accéléromètre. Ce résultat, bien qu'en progrès sensible par
rapport à la zone aveugle d'environ 1 g de l'accéléromètre AD'
de la figure 1, est donc encore très loin de permettre
d'obtenir la précision de 10-4 g dans toute l'étendue de mesure
de l'accéléromètre, et le lecteur aura compris que la fonction
de filtrage mécanique procurée par le cadre flexible 5
travaillant en suspension filtrante ne convient pas pour
réduire suffisamment le couplage mécanique entre les deux
résonateurs et donc la zone aveugle de mesure.
En référence à la figure 3, un dispositif de découplage
mécanique selon l'invention relie deux éléments vibrants TA'1
et TA'2 sensiblement identiques. Le dispositif est sous la
forme d'un cadre DM entourant les deux éléments vibrants et de
deux ponts de liaison (71,72) supportant chacun un élément
vibrant. Le cadre DM, les deux éléments vibrants TA', et TA'2
et les deux ponts de liaison 71 et 72 forment un corps
monolithique d'accéléromètre vibrant différentiel ADb. Le
cadre DM et les deux ponts de liaison 71 et 72 forment une
structure plane qui a pour axe de symétrie l'axe central Z


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perpendiculaire aux grandes faces de ladite structure. Ladite
structure n'a pas de plan de symétrie contenant l'axe
central Z.
Le corps monolithique d'accéléromètre ADb peut être
réalisé en une seule étape d'usinage chimique d'une plaque
plane de matériau, par exemple du quartz ou du silicium, de
même qu'expliqué dans le brevet déjà cité pour
l'accéléromètre AD' montré à la figure 1. Concernant les
structures réalisées dans la présente invention, l'usinage

chimique ne permet pas une maîtrise rigoureuse des formes des
différents éléments constitutifs. L'homme de l'art comprendra
que cette imprécision doit être prise en compte dans
l'interprétation de certains termes descriptifs, comme par
exemple les épaisseurs des éléments ou la symétrie de la
structure.
Le cadre DM, de forme générale rectangulaire, est
constitué de quatre cotés 41r 42, 43 et 44. Les cotés 43 et 44
sont disposés en regard l'un de l'autre et sont chacun
solidaires d'un pont de liaison (71r 72) . Les cotés 41 et 42

ont une dimension de section el prise dans le plan du cadre
DM. La dimension de section n'est pas constante le long des
deux autres cotés 43 et 44 dans lesquels il a été pratiqué
des enlèvements de matière afin d'obtenir des parties
amincies (11, 12, 13, 14) dont la dimension de section e2 est
nettement inférieure à la dimension de section e3 des parties
non amincies desdits cotés. Selon la représentation
illustrée, la dimension e2 est égale sensiblement au tiers de
la dimension e3. Généralement, la dimension e2 est comprise
entre le quart et la moitié de la dimension e3. Chacun des

cotés 43 et 44 comporte une partie amincie (11, 13) située
d'un côté du pont de liaison qui lui est solidaire (71r 72)
et de dimension de longueur L1, et une partie amincie (12,
14) située de l'autre côté dudit pont de liaison et de
dimension de longueur L2 nettement supérieure à L1. Selon la


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représentation illustrée, la dimension L2 est égale
sensiblement à trois fois la dimension L1. Généralement, la
dimension L2 est comprise entre deux fois et dix fois la
dimension L1. Ainsi, les parties amincies 12 et 14 de
dimension de longueur L2 sont nettement plus souples que les
parties amincies 11 et 13 de dimension de longueur L1. Il
doit être entendu que cette différence de souplesse, qui
constitue une caractéristique du dispositif selon
l'invention, peut être obtenue autrement que par la seule

différence de longueur entre L1 et L2. Ainsi, la dimension de
section des parties amincies 11 et 13 peut être différente de
la dimension de section des parties amincies 12 et 14.
Toujours selon la représentation illustrée à la figure
3, chacun des cotés 41 et 42 de dimension de section e1 est
solidaire d'une partie non amincie de dimension de section e3
de l'un des deux autres cotés 44 et 43, et forme avec ladite
partie non amincie une partie massive (61, 62).
Ainsi, le cadre DM peut être vu comme constitué
essentiellement d'une succession de deux parties massives
(61, 62) et de quatre parties amincies (11, 12, 13 14)
disposées de telle sorte que chacune desdites parties
massives est reliée à chacun des deux ponts de liaison par
l'intermédiaire d'une partie amincie.
L'accéléromètre ADb est fixé, par exemple par collage,
sur une embase de boîtier (non représentée) aux niveaux des
quatre petites zones circulaires ZF situées sur l'une des
faces du cadre DM aux niveaux des parties massives 61 et 62,
et représentées en pointillé à la figure 3. Il est important
de souligner que ces quatre petites zones de fixation ZF
permettent que la tenue de l'accéléromètre ADb soit
suffisamment rigide dans la bande passante de mesure,
typiquement de l'ordre de 1000 Hz, et suffisamment souple
pour ne pas s'opposer à l'existence d'un mode de résonance
structurelle du cadre DM à une fréquence voisine de la


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fréquence de travail commune des deux éléments vibrants,
typiquement de l'ordre de 50 000 Hz, ce qui ne pourrait pas
être obtenu si la totalité de la face du cadre DM était fixée
sur l'embase de boîtier.
5 Le cadre DM est dimensionné pour qu'il existe un mode de
résonance structurelle à la fréquence de travail commune tel
que au niveau de chacun des ponts de liaison 71 et 72 se
trouvent des noeuds de résonance structurelle du cadre. Ce
dimensionnement peut être déterminé au moyen d'un modèle

10 théorique du comportement vibratoire du cadre, comme par
exemple un modèle tridimensionnel aux éléments finis. De
préférence, l'écart relatif entre la fréquence de ladite
résonance structurelle du cadre et la fréquence de travail
commune des deux éléments vibrants est inférieur à 5%.
Le fonctionnement du dispositif de découplage mécanique
selon l'invention est maintenant présenté en référence à la
figure 4 qui montre un modèle théorique simplifié à un seul
axe x de vibration et constitué de masses et de ressorts
permettant de simuler le comportement mécanique vibratoire de
l'accéléromètre ADb de la figure 3. La description de la
figure 4 est donc effectuée en relation avec la figure 3.

Les deux ensembles constitués chacun d'une masse m et
d'une raideur k représentent les deux éléments vibrants TA'1
et TA'2 dont la fréquence de travail commune Fo s'écrit

F0 = 1
27r na

Chacun desdits ensembles est solidaire au niveau (A, B)
sur l'axe x de deux branches b1 et b2 constituées chacune
d'une masse M et de deux raideurs K1 et K2. Les niveaux A et
B représentent les ponts de liaison 71 et 72 respectivement,
et les branches b1 et b2 représentent le cadre DM pour lequel
les parties massives 61 et 62 sont représentées par les deux
masses M, les parties amincies 12 et 14 sont représentées par
les deux raideurs K1r et les parties amincies 11 et 13 sont


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représentées par les deux raideurs K2 de valeur nettement
supérieure à Ki.
Le modèle masses-ressorts de la figure 4 représente
convenablement certains aspects importants de la
configuration mécanique de la structure formée par le cadre
DM et les deux ponts de liaison 71 et 72, notamment en ce qui
concerne la différence de souplesse entre les parties
amincies 12, 14 et les parties amincies 11, 13, en ce qui
concerne le fait que chacune des parties massives est reliée

à chacun des deux ponts de liaison par l'intermédiaire d'une
partie amincie, et en ce qui concerne la symétrie par rapport
à l'axe central Z et l'absence de symétrie par rapport à un
plan contenant ledit axe.
Afin que les deux branches b1 et b2 du modèle masses-
ressorts de la figure 4 permettent de simuler le comportement
mécanique du cadre DM selon l'invention, il faut de plus que
les masses M et les raideurs K1 et K2 soient ajustées pour
que la fréquence Fb de résonance des branches b1 et b2,
considérée avec des conditions d'encastrement aux niveaux A
et B, soit égale à la fréquence de travail commune Fo

1 (K, +Kz) _
Fb Fo
27r M

Dans ces conditions d'ajustement, les équations
classiques traduisant l'équilibre dynamique des masses m et M
permettent de montrer que, dans la simulation du cas réel où

les niveaux A et B sont libres de se déplacer, la vibration
de l'un quelconque des deux ensembles constitués chacun d'une
masse m et d'une raideur k provoque des vibrations des
branches b1 et b2 qui s'adaptent spontanément pour maintenir
immobiles les niveaux A et B. Ainsi, chacun desdits ensembles
vibre comme s'il était encastré au niveau (A, B) . Ainsi, les
vibrations desdits ensembles sont indépendantes l'une de
l'autre et il n'y a donc pas de couplage mécanique entre
lesdites vibrations. Les équations classiques de l'équilibre


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dynamique des masses m et M permettent de plus de montrer que
cette absence de couplage mécanique entre lesdites vibrations
ne peut être obtenue que si les raideurs K1 et K2 sont
différentes l'une de l'autre, ce qui traduit la nécessité,
pour la structure formée par le cadre DM et les deux ponts de
liaison 71 et 72, de l'absence de symétrie par rapport à un
plan contenant l'axe central Z. De même, ladite absence de
couplage mécanique ne peut être obtenue que si chaque
ensemble constitué d'une masse m et d'une raideur k est
solidaire à un seul niveau (A, B) des deux branches b1 et b2,
ce qui explique pourquoi chacun des deux éléments vibrants
doit être relié au dispositif de découplage mécanique selon
l'invention par l'intermédiaire d'un unique pont de liaison.
Par analogie électrique, il est possible de voir le
fonctionnement du dispositif selon l'invention comme celui
d'un circuit bouchon accordé pour éliminer un signal
électrique à une fréquence particulière.
Grâce à son principe de fonctionnement, l'efficacité du
dispositif de découplage mécanique selon l'invention peut
s'accommoder d'une fréquence propre élevée pour
l'accéléromètre ADb, contrairement à l'accéléromètre ADa de
la figure 2 inspiré de l'art antérieur pour lequel
l'efficacité du filtrage mécanique procuré par le cadre 5 est
d'autant plus grande que la fréquence propre dudit cadre est
plus basse, ainsi qu'expliqué antérieurement par l'analogie
électrique du filtre passe-bas du deuxième ordre.
Ainsi, il est possible de réaliser un accéléromètre ADb
comportant un dispositif de découplage mécanique selon
l'invention, dimensionné pour mesurer jusqu'à 100 g, dont la
zone aveugle est inférieure à 10-4 g et dont la fréquence
propre la plus basse vaut 3000 Hz, valeur suffisamment élevée
pour assurer une robustesse suffisante de l'accéléromètre
dans beaucoup d'applications.


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13
Le modèle théorique simplifié illustré à la figure 4
permet également de tirer un autre enseignement pouvant
s'appliquer au dispositif de découplage mécanique selon
l'invention et concernant les tolérances de fabrication dudit
dispositif. Dans la pratique, il est souhaitable que le coût
de fabrication du capteur différentiel incluant le dispositif
de découplage mécanique selon l'invention ne soit pas grevé
d'un surcoût lié à une difficulté de réaliser ledit
dispositif avec une précision géométrique suffisante pour

obtenir l'efficacité désirée. Les équations classiques
traduisant l'équilibre dynamique des masses m et M du modèle
théorique de la figure 4 permettent de montrer que les
tolérances de réalisation du dispositif selon l'invention
sont proportionnelles à `K1 2/' Ainsi, on en déduit que
KlK2

lesdites tolérances de réalisation sont d'autant plus larges
que les raideurs K1 et K2 sont différentes l'une de l'autre.
C'est pourquoi, dans le cas du dispositif de découplage
mécanique montré à la figure 3, les parties amincies 12 et 14
sont nettement plus souples que les parties amincies 11 et
13. Dans la pratique, cela permet que les tolérances de
réalisation dudit dispositif soient de l'ordre de quelques
m, ce qui est compatible avec la précision des procédés
classiquement mis en oeuvre pour l'usinage chimique de
capteurs de petites dimensions.
La figure 5 montre une autre réalisation d'un dispositif
de découplage mécanique selon l'invention. De même que le
dispositif représenté à la figure 3, le dispositif de la
figure 5 est sous la forme générale d'un cadre rectangulaire
DM' constitué de quatre cotés 41r 42, 43 et 44 et qui diffère
du cadre DM de la figure 3 principalement par un plus grand
nombre de parties massives et de parties amincies. Plus
précisément, des enlèvements de matière ont été pratiqués


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dans les cotés 41 et 42 afin d'obtenir les parties amincies
15 et 16 dont la dimension de section e4 prise dans le plan
du cadre DM' est nettement inférieure à la dimension de
section el des parties non amincies desdits cotés. Selon la

représentation illustrée, la dimension e4 est égale
sensiblement au tiers de la dimension el. Généralement, la
dimension e4 est comprise entre le quart et la moitié de la
dimension el. Toujours selon la représentation illustrée, la
dimension de longueur L3 des parties amincies 15 et 16 est

sensiblement égale à la dimension de longueur L2 des parties
amincies 12 et 14 des deux autres cotés 43 et 44.
Généralement, L3 est compris entre la moitié et le double de
L2.
Toujours selon la représentation illustrée à la figure
5, une partie non amincie de chacun des cotés 41 et 42 est
solidaire d'une partie non amincie de l'un des deux autres
cotés 44 et 43 et forme avec ladite partie non amincie une
partie massive (65, 63), l'autre partie non amincie de chacun
des cotés 41 et 42 formant à elle seule une partie massive
(66, 64).
Ainsi, le cadre DM' peut être vu comme constitué
essentiellement d'une succession de quatre parties massives
(63, 64, 65, 66) et de six parties amincies (11, 12, 13, 14,
15, 16).
L'étude théorique du comportement vibratoire du cadre
DM', effectuée par exemple au moyen d'un modèle théorique
simplifié à un seul axe de vibration et constitué de quatre
masses et de six ressorts, permet de montrer que le plus
grand nombre de parties massives et de parties amincies
permet, par rapport au cadre DM représenté à la figure 3,
d'élargir sensiblement les tolérances de réalisation
nécessaires au bon fonctionnement du dispositif, à condition
toutefois que, comme pour le cadre DM, les deux parties
amincies (11 et 12, 13 et 14) situées respectivement de part


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et d'autre de chacun des deux ponts de liaison (71r 72) et
les plus proches dudit pont de liaison aient des souplesses
mécaniques très différentes l'une de l'autre. Il faut
toutefois noter que, s'il pourrait paraître intéressant au vu
5 de l'étude de modèles masses-ressorts de multiplier encore le
nombre de parties massives et de parties amincies, il en est
autrement dans la réalité où cela conduirait à obtenir un
dispositif dans lequel la dissociation entre lesdites parties
serait moins nette que dans les cas des cadres DM et DM',

10 ledit dispositif ne permettant pas de procurer d'amélioration
sensible par rapport aux cadres DM et DM' . Dans la pratique,
les cadres DM et DM' permettent des réalisations efficaces de
dispositifs de découplage mécanique selon l'invention, les
tolérances de réalisation plus larges du cadre DM' permettant

15 de le fabriquer avec des procédés plus simples et donc moins
coûteux à mettre en oeuvre que pour le cadre DM.

Representative Drawing
A single figure which represents the drawing illustrating the invention.
Administrative Status

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Administrative Status

Title Date
Forecasted Issue Date 2011-06-07
(86) PCT Filing Date 2005-04-21
(87) PCT Publication Date 2005-12-22
(85) National Entry 2006-11-01
Examination Requested 2006-11-01
(45) Issued 2011-06-07

Abandonment History

There is no abandonment history.

Payment History

Fee Type Anniversary Year Due Date Amount Paid Paid Date
Request for Examination $800.00 2006-11-01
Registration of a document - section 124 $100.00 2006-11-01
Application Fee $400.00 2006-11-01
Maintenance Fee - Application - New Act 2 2007-04-23 $100.00 2006-11-01
Maintenance Fee - Application - New Act 3 2008-04-21 $100.00 2008-03-20
Maintenance Fee - Application - New Act 4 2009-04-21 $100.00 2009-04-14
Maintenance Fee - Application - New Act 5 2010-04-21 $200.00 2010-04-14
Final Fee $300.00 2011-02-23
Maintenance Fee - Application - New Act 6 2011-04-21 $200.00 2011-03-22
Maintenance Fee - Patent - New Act 7 2012-04-23 $200.00 2012-04-05
Maintenance Fee - Patent - New Act 8 2013-04-22 $200.00 2013-04-08
Maintenance Fee - Patent - New Act 9 2014-04-22 $200.00 2014-03-24
Maintenance Fee - Patent - New Act 10 2015-04-21 $250.00 2015-03-23
Maintenance Fee - Patent - New Act 11 2016-04-21 $250.00 2016-03-22
Maintenance Fee - Patent - New Act 12 2017-04-21 $250.00 2017-03-21
Maintenance Fee - Patent - New Act 13 2018-04-23 $250.00 2018-03-20
Maintenance Fee - Patent - New Act 14 2019-04-23 $250.00 2019-03-26
Maintenance Fee - Patent - New Act 15 2020-04-21 $450.00 2020-04-01
Maintenance Fee - Patent - New Act 16 2021-04-21 $459.00 2021-03-23
Maintenance Fee - Patent - New Act 17 2022-04-21 $458.08 2022-03-23
Maintenance Fee - Patent - New Act 18 2023-04-21 $473.65 2023-03-23
Maintenance Fee - Patent - New Act 19 2024-04-22 $624.00 2024-03-20
Owners on Record

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Past Owners on Record
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LE TRAON, OLIVIER
LECORRE, BERNARD
MULLER, SERGE
PERNICE, MARC
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Document
Description 
Date
(yyyy-mm-dd) 
Number of pages   Size of Image (KB) 
Claims 2009-09-15 2 75
Description 2009-09-15 15 734
Drawings 2006-11-01 3 77
Claims 2006-11-01 2 87
Abstract 2006-11-01 2 95
Description 2006-11-01 15 751
Cover Page 2007-01-12 1 47
Representative Drawing 2007-01-11 1 10
Cover Page 2011-05-12 2 51
PCT 2006-11-01 6 227
Assignment 2006-11-01 5 149
Prosecution-Amendment 2009-04-03 2 62
Prosecution-Amendment 2007-04-03 1 34
PCT 2006-11-02 7 298
Prosecution-Amendment 2009-09-15 9 363
Fees 2010-04-14 1 35
Correspondence 2011-02-23 2 68